複合式自動電漿製程檢測機 APIS

在大氣環境中，產生輝光放電等離子體，可應用於基板表面清潔、貼合後殘膠去除、奈米級表面平坦化或基板表面鍍膜，並整合量檢測系統，用於分析製程後基板表面狀況，同時達到用戶端製程與檢測需求

大氣電漿高反應活性，製程效率高
根據製程需求，可使用多種製程氣體
大氣電漿模組幅寬設計靈活，可應用於各形狀產品製程或加工
搭配不同量檢測模組，並客製化分析軟體，達到製程後基板分析需求
製程與量檢測之間採自動化運作，減少移載放片流程，降低製程時間