在大氣環境中，產生輝光放電等離子體，快速清潔有機汙染物， 達到元件表面清潔及改善的功能，有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度
電漿處理強度高 低電能低流量 臭氧濃度低，電漿溫度低 無靜電問題 非導通物有厚度限制(0.1~2mm) 易受外圍氣流影響 各式基材在印刷或黏著前之表面活化、改質、接枝、粗糙化或清潔等
