在大气环境中，产生辉光放电等离子体，快速清洁有机污染物， 达到元件表面清洁及改善的功能，有效提升元件封装、黏着、印刷之可靠度
等离子处理强度高 低电能低流量 臭氧浓度低，等离子温度低 无静电问题 非导通物有厚度限制(0.1~2mm) 易受外围气流影响 各式基材在印刷或黏着前之表面活化、改质、接枝、粗糙化或清洁等
